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低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用

2017-10-28 20:45:38 大云網(wǎng)　 點擊量： 評論 (0)
低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用

 

摘要:

低壓擴散是一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統(tǒng)實現(xiàn)的擴散方式，真空系統(tǒng)提供
低壓力氛圍，從而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高擴散均勻性、穩(wěn)定性和成膜致
密性；通過低壓擴散工藝，可以獲得均勻的p-n 結(jié)結(jié)構(gòu)，更易實現(xiàn)淺結(jié)高方阻擴散工
藝，提升電池轉(zhuǎn)換效率。同時低壓擴散以其優(yōu)異的方阻均勻性大大提高單管產(chǎn)能，降
低制造成本。

 

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